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一种石英销及单晶硅生长装置

基本信息

申请号 CN202120160695.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214361839U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214361839U 申请公布日 2021-10-08
分类号 C30B29/06（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;G01F23/292（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 温雅楠 申请（专利权）人 上海新昇半导体科技有限公司
代理机构 上海思捷知识产权代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201306上海市浦东新区临港新城云水路1000号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种石英销，所述石英销包括杆身，所述杆身沿轴向分为第一部分和第二部分，所述第一部分沿轴向的长度小于所述第二部分沿轴向的长度，且所述第一部分与所述第二部分的轴向不平行，所述第二部分的自由端膨大形成投影部，所述投影部的背离所述第二部分的表面为弧面。所述第一部分用于将石英销固定于反射器的底端，所述投影部会在硅熔体的液面形成有投影，所述投影部背向所述第二部分的一面为弧面，所述弧面能够将光线更好的反射至硅熔体的液面。能够使得所述投影更加清晰，有利于成像单元获取所述投影与所述投影部的图像，有利于获取所述投影与所述投影部之间的距离。相应的，本实用新型还提供了一种单晶硅生长装置。