一种晶圆夹持机械手臂及其清洗晶圆的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810338638.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110391170B | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN110391170B | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘源;汪燕 | 申请（专利权）人 | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗磊 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区泥城镇云水路1000号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆夹持机械手臂及其清洗晶圆的方法，有助于保证晶圆在抛光后的亲水性，且晶圆的清洗操作方便。所述机械手臂包括支撑臂、晶圆承载夹持机构和流体管路，所述支撑臂具有包含若干孔洞的主体，且若干孔洞贯穿主体的表面，所述晶圆承载夹持机构设置于主体上且相对所述表面垂直设置以夹持晶圆，所述流体管路与若干孔洞连通，用于接收流经液体并将流经液体输送至若干孔洞以喷出液体。所述晶圆夹持机械手臂清洗晶圆的方法包括：在晶圆夹持机械手臂将待工艺处理之晶圆从抛光设备传输至容置设备的过程中，设置在所述支撑臂内的流体管路通过若干孔洞，持续的向晶圆承载夹持机构处的晶圆喷吹去离子水。 |
