高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法
基本信息
申请号 | CN201810161330.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108358648B | 公开(公告)日 | 2020-12-15 |
申请公布号 | CN108358648B | 申请公布日 | 2020-12-15 |
分类号 | C04B35/622;C04B35/626;C04B35/48;C04B35/50 | 分类 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
发明人 | 何箐;邹晗;王世兴 | 申请(专利权)人 | 北京金轮坤天特种机械有限公司 |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司 |
地址 | 100083 北京市朝阳区德胜门外北沙滩1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种高均匀性、短流程电子束物理气相沉积热障涂层用陶瓷靶材制备方法,包括如下步骤:粉末原料团聚造粒、团聚造粒粉末热处理、粉末配比混合、冷等静压、排胶处理。本发明制备的陶瓷靶材具有工艺流程短、易加工等优点,所制备的靶材具有优异的抗热震性能,从而保障电子束物理气相沉积过程工艺稳定性。也可根据工艺需求,在生坯排胶后进行烧结处理获得高密度、高强度陶瓷靶材。 |
