光学部件增透镀膜设备腔体的门扇

基本信息

申请号 CN201920387935.8 申请日 -
公开(公告)号 CN211342652U 公开(公告)日 2020-08-25
申请公布号 CN211342652U 申请公布日 2020-08-25
分类号 E06B7/30(2006.01)I;E06B5/00(2006.01)I 分类 -
发明人 瞿建强;钱拥军 申请(专利权)人 光科真空科技(泰兴)有限公司
代理机构 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 光科真空科技(泰兴)有限公司
地址 225400江苏省泰州市泰兴市黄桥工业园区致富南路西侧、军民路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇,包括铰接在腔体侧板上的门扇板,门扇板上设置至少两个观察视窗,包括第一视窗、第二视窗,第一视窗包括固定设置在门扇板其靠近腔体内侧面上的玻璃片以及设置在门扇板内的镜筒,门扇板上设置圆台形的盲孔,盲孔的开口端为小尺寸端,盲孔的开口位于门扇板其远离腔体的外侧面上,盲孔的孔底壁与玻璃片相连,镜筒设置在盲孔内,盲孔的开口端设置关节轴承,关节轴承的外圈固定连接在盲孔其开口端内壁,关节轴承的内圈固定连接镜筒其设置目镜的一端,镜筒的另一端设置物镜,镜筒的长度小于盲孔的深度。本实用新型将门扇的两个视窗改成一个可以控制工件旋转,一个可以观察腔体不同部位的工件。