超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置

基本信息

申请号 CN202020542670.7 申请日 -
公开(公告)号 CN211978773U 公开(公告)日 2020-11-20
申请公布号 CN211978773U 申请公布日 2020-11-20
分类号 G01N29/26(2006.01)I;G01N29/28(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 聂延伟;宋婉潇;杨国牛;薛翔;夏启飞;刘荣辉 申请(专利权)人 西安西谷微电子有限责任公司
代理机构 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) 代理人 西安西谷微电子有限责任公司
地址 710000陕西省西安市高新区锦业路69号创业园A区12号现代企业中心东区2-10402
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置,包括检测平台和耦合介质槽,耦合介质槽内设置与检测平台边缘位置相应的固定点,使检测平台对应固定点放置于耦合介质槽内时,检测平台的中心点与耦合介质槽的中心点重合;检测平台上围绕中心点的位置固定待测塑封电子元器件。本实用新型的检测系统器件定位装置能够将器件准确定位,提高检测速率。