超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置
基本信息
申请号 | CN202020542670.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211978773U | 公开(公告)日 | 2020-11-20 |
申请公布号 | CN211978773U | 申请公布日 | 2020-11-20 |
分类号 | G01N29/26(2006.01)I;G01N29/28(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 聂延伟;宋婉潇;杨国牛;薛翔;夏启飞;刘荣辉 | 申请(专利权)人 | 西安西谷微电子有限责任公司 |
代理机构 | 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 西安西谷微电子有限责任公司 |
地址 | 710000陕西省西安市高新区锦业路69号创业园A区12号现代企业中心东区2-10402 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置,包括检测平台和耦合介质槽,耦合介质槽内设置与检测平台边缘位置相应的固定点,使检测平台对应固定点放置于耦合介质槽内时,检测平台的中心点与耦合介质槽的中心点重合;检测平台上围绕中心点的位置固定待测塑封电子元器件。本实用新型的检测系统器件定位装置能够将器件准确定位,提高检测速率。 |
