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大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法

基本信息

申请号	CN202010595744.8	申请日	-
公开（公告）号	CN111604651A	公开（公告）日	2020-09-01
申请公布号	CN111604651A	申请公布日	2020-09-01
分类号	B23P15/00(2006.01)I;B23B5/12(2006.01)I	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	董艳霞;于丙宏;王永胜;张洪;王宏君;张健;张昱;尹城钧	申请（专利权）人	沈阳有色金属加工有限公司
代理机构	沈阳亚泰专利商标代理有限公司	代理人	沈阳有色金属加工有限公司
地址	110200辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区冶金十路二号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种金属材料加工技术领域，具体涉及大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法。所述大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法包括以下步骤：步骤1、铸锭选择；步骤2、热锻造；步骤3、车削；步骤4、热挤压；步骤5、拉伸；步骤6、退火；步骤7、精整：步骤8、检验制作管材。本发明提供的大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法使制得管材内部组织均匀、细小，没有变形织构，任意一点晶粒尺寸在0.25‑0.33um，最大和最小晶粒尺寸差值小于0.10um；本发明提供的大尺寸高纯铜旋转靶材的制备方法使制得管材硬度均匀，任意一点布氏硬度HB值在53‑55之间，因校直使大长径比管材直度很好，便于后续精密加工靶材以及靶材旋转。该制备方法操作性好，生产效率高，生产成本较低，并能形成工业化批量生产。