一种喷嘴高度的微调装置

基本信息

申请号 CN201922077806.1 申请日 -
公开(公告)号 CN211801924U 公开(公告)日 2020-10-30
申请公布号 CN211801924U 申请公布日 2020-10-30
分类号 B05B15/68(2018.01)I 分类 -
发明人 吕健 申请(专利权)人 无锡升滕半导体技术有限公司
代理机构 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 花修洋
地址 214000江苏省无锡市新吴区天安智慧城A1-B705
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种喷嘴高度的微调装置,包括底座、活塞块、旋钮和喷嘴;所述底座设置有进气通道和出气通道,所述进气通道和出气通道上下交错设置,所述活塞块设置有导气通道,所述导气通道的一端与出气通道相通,所述导气通道的另一端与进气通道相通,所述活塞块与旋钮上下滑动连接,转动旋钮可使活塞块上下移动,所述喷嘴可与活塞块固定连接。本实用新型所述的一种用于控制进气量的微调装置,能够实现喷嘴的上下微小调整,保证镀膜质量。