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可升降式喷淋清洗装置

基本信息

申请号 CN201922278774.1 申请日 -
公开（公告）号 CN211587852U 公开（公告）日 2020-09-29
申请公布号 CN211587852U 申请公布日 2020-09-29
分类号 B08B9/28(2006.01)I;B08B9/34(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 刘国华;刘春峰;李刚 申请（专利权）人 荣耀电子材料（重庆）有限公司
代理机构 深圳市中知专利商标代理有限公司 代理人 荣耀电子材料（重庆）有限公司
地址 402460重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种可升降式喷淋清洗装置，包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套筒，所述螺杆的下部穿设于套筒内，两者螺纹连接；所述喷淋管道安装于所述套筒的下方；所述链轮一转动带动链条转动并绞动链轮二同步转动，从而带动螺杆转动，实现升降机构连同喷淋管道的升降动作。本实用新型实现了喷淋清洗对不同高度晶圆盒的清洗效果的一致性，保证最佳的清洗效果。