多片立式放置晶圆盒及上盖
基本信息
| 申请号 | CN202020436121.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212767600U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212767600U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | B65D55/02(2006.01)I;B65D51/24(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 刘国华;李刚;刘春峰 | 申请（专利权）人 | 荣耀电子材料（重庆）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张学群;檀林清 |
| 地址 | 402460重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种多片立式放置晶圆盒及上盖，包括上盖、片架、底盖，所述上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有若干间距排布的、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片，所述悬臂弹片的自由端设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽；所述支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙，相邻所述支撑槽的相邻所述挡墙呈错位互补型。本实用新型具有结构简化、安装方便、节约成本、减少卡片现象的特点。 |
