35片装立式放置晶圆盒

基本信息

申请号 CN202021343775.6 申请日 -
公开(公告)号 CN213832569U 公开(公告)日 2021-07-30
申请公布号 CN213832569U 申请公布日 2021-07-30
分类号 B65D25/02(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I;B65D43/22(2006.01)I;B65D21/032(2006.01)I;B65D85/86(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 刘国华;李刚;刘春峰 申请(专利权)人 荣耀电子材料(重庆)有限公司
代理机构 深圳市中知专利商标代理有限公司 代理人 张学群;檀林清
地址 402460重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种35片装立式放置晶圆盒,包括上盖、片架、底盖,片架放置于底盖内,上盖扣接盖设于底盖的上方;片架的两个片架侧壁的相对面设有35个间距排布的晶圆插槽;上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有35个间距排布、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片,悬臂弹片的端部设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽;支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙,挡墙顶点的垂直投影越过相邻悬臂弹片之间的中心线,使相邻支撑槽的相邻挡墙呈错位互补型。本实用新型在不改变市场现有产品整体尺寸、形状的前提下,实现高密度卡槽设计,具有降低成本、提高存储和运输效率、同时不会发生卡片现象的特点。