35片装立式放置晶圆盒
基本信息
申请号 | CN202021343775.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213832569U | 公开(公告)日 | 2021-07-30 |
申请公布号 | CN213832569U | 申请公布日 | 2021-07-30 |
分类号 | B65D25/02(2006.01)I;B65D25/10(2006.01)I;B65D43/22(2006.01)I;B65D21/032(2006.01)I;B65D85/86(2006.01)I | 分类 | 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料; |
发明人 | 刘国华;李刚;刘春峰 | 申请(专利权)人 | 荣耀电子材料(重庆)有限公司 |
代理机构 | 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张学群;檀林清 |
地址 | 402460重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种35片装立式放置晶圆盒,包括上盖、片架、底盖,片架放置于底盖内,上盖扣接盖设于底盖的上方;片架的两个片架侧壁的相对面设有35个间距排布的晶圆插槽;上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有35个间距排布、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片,悬臂弹片的端部设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽;支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙,挡墙顶点的垂直投影越过相邻悬臂弹片之间的中心线,使相邻支撑槽的相邻挡墙呈错位互补型。本实用新型在不改变市场现有产品整体尺寸、形状的前提下,实现高密度卡槽设计,具有降低成本、提高存储和运输效率、同时不会发生卡片现象的特点。 |
