蚀刻液收集装置
基本信息
| 申请号 | CN202121764117.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215429645U | 公开（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申请公布号 | CN215429645U | 申请公布日 | 2022-01-07 |
| 分类号 | B04B15/00（2006.01）I | 分类 | 用于实现物理或化学工艺过程的离心装置或离心机; |
| 发明人 | 史蒂文·贺·汪;王亦天 | 申请（专利权）人 | 硅密芯镀（海宁）半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 杨东明;蔡烨平 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区隆兴路118号1512室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蚀刻液收集装置，包括：基片旋转机构、腔体、升降机构、分液口，腔体包括若干个废液收集腔，装置还包括废液回收环，废液回收环和腔体环绕于所述基片旋转机构布置，分液回收环在靠近基片旋转机构的一侧设有若干个分液口，各分液口沿垂直于基片旋转机构的方向依次布置、并分别在废液回收环内延伸并形成与废液收集腔数量相匹配的分液通道，废液收集腔容纳对应的所述分液通道，升降机构驱动废液回收环在废液收集腔内沿垂直于基片旋转机构的方向作升降运动。本设计将基片旋转机构，腔体与升降废液回收环分离，既解决了升降分层排放废液的问题又解决了由于升降造成的管线成本寿命问题。 |
