一种感测膜和微机电装置
基本信息
| 申请号 | CN201910489521.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110002394B | 公开（公告）日 | 2019-09-06 |
| 申请公布号 | CN110002394B | 申请公布日 | 2019-09-06 |
| 分类号 | B81B3/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 詹竣凯; 罗松成 | 申请（专利权）人 | 深圳市共达电声科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 共达电声股份有限公司;深圳市共达电声科技有限公司 |
| 地址 | 261200 山东省潍坊市坊子区凤山路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种微机电技术领域，尤其涉及一种感测膜和微机电装置。所述感测膜包括应力分散部和感测部，所述应力分散部包括多个呈平面状的振动弹簧，所述振动弹簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧和第二半簧交错连接。微机电装置采用了上述的感测膜。本发明的感测膜和微机电装置具有消除应力效果好的优点。 |
