一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN202210450984.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114683167A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114683167A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B29C67/24（2006.01）I;B32B3/04（2006.01）I;B32B3/30（2006.01）I;B32B7/12（2006.01）I;B32B27/08（2006.01）I;B32B27/20（2006.01）I;B32B27/38（2006.01）I;B32B27/40（2006.01）I;B32B37/06（2006.01）I;B32B37/12（2006.01）I;B32B38/04（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李加海;杨慧明;李元祥 | 申请（专利权）人 | 安徽禾臣新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京和联顺知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 238200安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺，涉及吸附垫技术领域。包括石英基板层、连接层和多孔吸附层，所述石英基板层通过连接层与多孔吸附层连接，石英基板层靠近多孔吸附层的一侧设置有环形分布的支撑凸点，支撑凸点呈同心圆分布，同一圆形上的支撑凸点高度相同，从石英基板层边缘向圆心方向上的支撑凸点高度递减。本发明提出的一种石英基板高吸附性吸附垫及其制备工艺，设置的石英基板层上连接有支撑凸点和支撑圈，通过支撑凸点，能够防止第三吸附层受压变形，从而提高吸附垫的稳定性，能够在保证高吸附性的同时，减小吸附垫的形变，利用枣木和梨木材质坚硬，有韧性，不易折断的特点，提高了石英基板层的硬度。 |
