一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法
基本信息
| 申请号 | CN202110350305.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113199395B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN113199395B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B24B37/34（2012.01）I;B24B37/00（2012.01）I;B24B37/27（2012.01）I;B24B13/00（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B24B13/005（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李加海;谭鸿 | 申请（专利权）人 | 安徽禾臣新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京和联顺知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 238200安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，属于吸附垫技术领域，包括基材板，基材板的顶面上设有限位组件，限位组件之间形成不小于一组容纳垫体的槽道，垫体放置在槽道内与基材板相接，限位组件外侧连接的锁定组件贯穿垫体，用于垫体固定在基材板上，锁定组件从限位组件抽出用于垫体更换。本发明提出的一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，针杆插入发泡层将垫体进行固定，也方便后续的更换，横板、侧板和针杆从限位组件抽出，根据三组垫体的含有抛光液，去除含有抛光液最大的一组垫体；更换的垫体重新插入对应的槽道内，侧板和针杆分别与导向槽和限位孔对齐插入直至横板插入条形槽，完成局部更换，降低成本。 |
