一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具
基本信息
| 申请号 | CN202020982436.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212320602U | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN212320602U | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | G01B5/12(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张代龙;穆帅帅;马有杰;贺贤汉 | 申请（专利权）人 | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津市新天方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 地址 | 301712天津市武清区京滨工业园京滨大道南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型是一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置。本实用新型通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，配合弧形卡座一的固定孔，避免了喷淋板与检测治具发生相对移动，进而提高了检测的工作效率。 |
