一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202011444307.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112605039A | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN112605039A | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | C23F1/16(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B24C1/08(2006.01)I;C23G1/10(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 穆帅帅;张代龙;马有杰;贺贤汉 | 申请（专利权）人 | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津市新天方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 孔珍 |
| 地址 | 301712天津市武清区京滨工业园京滨大道南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明是一种去除钼材质表面金属导电薄膜的清洗方法，其步骤如下：来料检查；纯水冲洗；盐酸浸泡；乙二酸浸泡；表面喷砂；硝酸和氢氟酸浸泡；纯水浸泡；超声波清洗；氮气吹扫；干燥。本发明通过采用盐酸浸泡，便于去除钼材质部件表面大部分的沉积污染物，通过使用喷砂机对钼材质部件进行喷砂处理，便于清除钼材质部件表面的氧化层，通过采用硝酸和氢氟酸混合溶液浸泡钼材质部件，可以去除钼材质部件表面玷污的微量金属，使用超声波清洗和氮气清扫钼材质部件表面，大大减少了钼材质部件表面的颗粒污染物，采用此方法降低了钼材质部件的单次重量损耗，减少了钼材质部件母材的损耗，增加了钼材质部件的使用次数，降低了客户端的使用成本。 |
