一种半导体制程用压紧环的喷砂保护治具
基本信息
| 申请号 | CN202021737426.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212947306U | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN212947306U | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | B24C3/00(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 穆帅帅;张代龙;马有杰;贺贤汉 | 申请（专利权）人 | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津市新天方专利代理有限责任公司 | 代理人 | 孔珍 |
| 地址 | 301712天津市武清区京滨工业园京滨大道南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型是一种半导体制程用压紧环的喷砂保护治具，包括治具主体，治具主体包括环形平面覆盖板，在环形平面覆盖板上同轴安有环形内筒，环形内筒的上部安有支撑杆，支撑杆与环形平面覆盖板平行，位于环形内筒外部的环形平面覆盖板上圆周安有若干限位柱。本实用新型通过设置安有十字型支撑杆的环形内筒，避免了环形内筒多次使用后发生变形，并且方便取拿治具，通过设置安有限位柱的环形平面覆盖板，限位柱安装在压紧环凹槽内，保证治具不会左右晃动，且不会碰伤产品，环形内筒与压紧环内表面贴合紧密，遮蔽精度高，使用方便，便于反复使用，避免了采用胶带而导致的保护边缘不齐，有残胶的问题。 |
