一种高效背钝化晶硅太阳能电池及其制备方法

基本信息

申请号 PCT/CN2020/108863 申请日 -
公开(公告)号 WO2021068644A1 公开(公告)日 2021-04-15
申请公布号 WO2021068644A1 申请公布日 2021-04-15
分类号 H01L31/0216;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 ZHANG, PENG;张鹏;CHEN, KUN;陈坤;WANG, LAN;王岚;YIN, ZHIWEI;尹志伟 申请(专利权)人 通威太阳能(眉山)有限公司
代理机构 - 代理人 CHENG DU HONG YI TIAN CHENG INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO.,LTD;成都弘毅天承知识产权代理有限公司
地址 No.888, Linjiaci Road, Huangjia Subdistrict, Shuangliu District,Chengdu, Sichuan 610000 CN
法律状态 -

摘要

摘要 一种高效背钝化晶硅太阳能电池及其制备方法,电池包括由上至下依次相连的Ag栅指电极(1)、SiNx钝化减反射层(2)、N+层(磷掺杂层)(3)、P型硅(4)、背面钝化层(5)、Al栅指电极(6),Ag栅指电极(1)依次贯穿SiNx钝化减反射层(2)、N+层(3)通过N++层(重掺杂硅层)(7)与P型硅(4)相连,Al栅指电极(6)贯穿背面钝化层(5)通过P+层(局部接触铝掺杂层)(8)与P型硅(4)相连,背面钝化层(5)为钝化减反叠层结构,钝化减反叠层结构(5)包括由上至下依次设置的SiO2钝化层(51)、AlOx钝化层(52)、SiNx减反射层(53)、SiOxNy减反射层(54);太阳能电池具有高载子选择性、高温度稳定性,优良的界面钝化效果,优良的抗PID能力,从而实现了高转换效率,高稳定性。