一种超细纳米晶碳化钨涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710545169.9 申请日 -
公开(公告)号 CN107130227A 公开(公告)日 2017-09-05
申请公布号 CN107130227A 申请公布日 2017-09-05
分类号 C23C16/32(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 谭成文;张慧聪;于晓东 申请(专利权)人 昆明铂生金属材料加工有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种超细纳米晶碳化钨涂层及其制备方法,为一种采用常压化学气相沉积的方法制备的超细纳米晶碳化钨涂层,所制备的超细纳米晶碳化钨涂层为具有高硬度、耐磨损、耐腐蚀特性的细晶粒层状碳化钨涂层,特别是存在粒径为3~5nm的W2C超细纳米晶和非晶,有效提高了层状结构涂层的层间结合力,和涂层硬度,该涂层的显微硬度可以达到28.8GPa。