一种激光蚀刻保护膜的水溶性树脂组合物
基本信息
| 申请号 | CN202110370921.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113444406A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113444406A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | C09D123/00（2006.01）I;C09D7/65（2018.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 马晓东 | 申请（专利权）人 | 滁州金桥德克新材料有限公司无锡分公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴彩凤 |
| 地址 | 214116江苏省无锡市锡山区鹅湖镇新桥工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种激光蚀刻保护膜的水溶性树脂组合物，主要包括以下重量份的组分：水性聚烯烃25～31份，水溶性高分子聚合物15～25份，水性光引发剂6～10份，附着力促进剂9～12份，助剂0.1～3份，去离子水47～55份，填料1～5份。本发明提供的激光蚀刻保护膜的水溶性树脂组合物，发挥多组分混合树脂协同作用，形成的保护膜耐热性好，激光辐照下收缩率低，渗透性高、表面粗糙度低，即使是具有凹凸结构的半导体衬底也没有缝隙，对波长小于355nm的深紫外光吸收率高，形成的开口边缘清晰；同时，本发明保护膜易于去除，能耗低，一次扫描即可清除干净不残留，对环境友好，特别适用于半导体凹凸衬底表面激光蚀刻。 |
