一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201810397451.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108301041A | 公开(公告)日 | 2018-07-20 |
申请公布号 | CN108301041A | 申请公布日 | 2018-07-20 |
分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 龙立华;付阔;穆荣升;许丽丽;吴允辉;郭大为 | 申请(专利权)人 | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谈杰 |
地址 | 264000 山东省烟台市福山区英特尔大道20号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法,包含熔融石英和导热助剂,所述导热助剂为碳化硅、氧化铝中的一种或二者的复配,所述熔融石英与导热助剂的重量比为(1~3):1。本发明的有益效果是:本发明提供的坩埚具有良好的导热性能,与现有市场上的熔融石英坩埚相比,热导率提升了40%以上,不但改善了长晶的品质,而且缩短了长晶周期,大幅提高了铸锭炉的铸锭产能。 |
