一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法

基本信息

申请号 CN201810397451.1 申请日 -
公开(公告)号 CN108301041A 公开(公告)日 2018-07-20
申请公布号 CN108301041A 申请公布日 2018-07-20
分类号 C30B28/06;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 龙立华;付阔;穆荣升;许丽丽;吴允辉;郭大为 申请(专利权)人 烟台同立高科新材料股份有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 谈杰
地址 264000 山东省烟台市福山区英特尔大道20号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法,包含熔融石英和导热助剂,所述导热助剂为碳化硅、氧化铝中的一种或二者的复配,所述熔融石英与导热助剂的重量比为(1~3):1。本发明的有益效果是:本发明提供的坩埚具有良好的导热性能,与现有市场上的熔融石英坩埚相比,热导率提升了40%以上,不但改善了长晶的品质,而且缩短了长晶周期,大幅提高了铸锭炉的铸锭产能。