一种多晶硅铸锭用熔融石英坩埚及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810397707.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108374196B | 公开（公告）日 | 2018-08-07 |
| 申请公布号 | CN108374196B | 申请公布日 | 2018-08-07 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 穆荣升;龙立华;付阔;许丽丽;吴允辉;郭大为 | 申请（专利权）人 | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谈杰 |
| 地址 | 264000山东省烟台市福山区英特尔大道20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用熔融石英坩埚及其制备方法，包含熔融石英和晶化抑制剂，所述晶化抑制剂为氮化硅、氮化硼、碳化硼、氧化钇和氧化钕粉末中的一种或两种及多种的复配，所述晶化抑制剂的含量为熔融石英重量的0.5～6％。本发明的方法制备得到的石英坩埚在承载多晶硅铸锭的过程中，尤其是在金属硅熔化之前，可有效抑制熔融石英析出方石英的行为，进而大幅提升了石英坩埚的使用安全性。 |
