一种多晶硅铸锭用坩埚
基本信息
| 申请号 | CN201810397864.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108301042A | 公开（公告）日 | 2018-07-20 |
| 申请公布号 | CN108301042A | 申请公布日 | 2018-07-20 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 龙立华;付阔;穆荣升;许丽丽;吴允辉;郭大为 | 申请（专利权）人 | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谈杰 |
| 地址 | 264000山东省烟台市福山区英特尔大道20号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用坩埚，由若干石墨板拼接而成，所述石墨板的内表面复合有氮化硅涂层，相邻石墨板之间通过石墨螺丝和/或石墨加固块来连接或固定，相邻石墨板连接的接缝处喷涂有氮化硅涂层。本发明的坩埚采用石墨板拼接而成，不但可重复使用，而且由于石墨的高温强度高，在铸锭过程中可不用石墨板护板来支持，大大节约了铸锭成本；由于石墨导热性好，且不易与硅反应的特点，因而解决了熔融石英坩埚存在的漏硅率高、氧含量偏高引起的衰减、侧面红区及底部红区偏长的问题，铸锭周期可缩短约18小时以上，每月可多生产近3个硅锭，大大提高了铸锭效率。 |
