一种制动机构及采用该制动机构的调角载台
基本信息
| 申请号 | CN202210318975.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114688183A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114688183A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | F16D49/10（2006.01）I;F16D49/12（2006.01）I;F16D65/06（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种制动机构及采用该制动机构的调角载台，属于高精密驱动载台领域，制动机构包括摩擦传动带、摩擦传动带支撑组件、刹车驱动滑座组件、制动器、摩擦滚轮和Z轴摩擦片；调角载台包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、Y轴驱动组和X轴驱动组；X轴驱动组设置在X轴横梁与晶圆载台之间，驱动晶圆载台和摩擦传动机构同步的沿着X轴横梁横向移动，同时摩擦传动机构摩擦传动使得晶圆载台的载盘转动，从而调整晶圆角度；通过本发明的制动机构可以为主动或被动驱动的载台提供制动力，同时可提供转角调节，降低了成本，提高了整体性能，便于在带有运动台或载台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。 |
