一种柔性运动台及载台系统
基本信息
| 申请号 | CN202210318967.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114619411A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114619411A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | B25H1/02（2006.01）I;B25H1/10（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种柔性运动台及载台系统，属于高精机台领域，柔性运动台包括承载梁、端接头、气浮地脚、侧端气浮垫、侧端刹车垫、横向直线电机、纵向直线电机、距离传感器和偏移限位组件，横向直线电机和纵向直线电机用以在平面内驱动承载梁；多个距离传感器设置在端接头上，用以监测承载梁的位置；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；柔性运动台被柔性支撑在机架和两个侧边梁之间；通过本申请的柔性运动台及载台系统，能够精确的柔性支撑、监测和调节承载梁的空间位置，保证载台系统的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。 |
