一种晶圆载台
基本信息
| 申请号 | CN202210317587.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114683223A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114683223A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B25H1/00（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆载台，属于高精机台领域，包括载台底脚、载台底座、载台上座、载台主轴、晶圆载盘、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件、回正叉组件和载台底面真空刹车组件；通过本方案，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，达到高精悬浮支撑作用，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。 |
