一种晶圆侧边影像检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202210167185.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114460009A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114460009A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆侧边影像检测装置，属于半导体检测领域，装置包括影像采集机构、晶圆载台和控制器，影像采集机构距离可调的正对晶圆载台设置，晶圆载台高度可调的旋转支撑多种规格的晶圆，通过控制器控制晶圆载台带动被测晶圆旋转，并控制影像采集机构完成对晶圆全周侧的影像采集；装置设置多个影像采集机构围绕晶圆载台周向均布的设置；以此提高晶圆侧边影像采集的精度和效率，便于在半导体检测领域中推广应用。 |
