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一种磁场强度可调节式磁控溅射装置

基本信息

申请号 CN201922420504.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211689224U 公开（公告）日 2020-10-16
申请公布号 CN211689224U 申请公布日 2020-10-16
分类号 C23C14/35(2006.01)I 分类 -
发明人 鲍伟伟;陈磊;史永辉 申请（专利权）人 无锡广信赢科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214028江苏省无锡市新吴区新华路5号创新创意产业园C栋106室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及磁场强度可调节式磁控溅射装置领域，公开了一种磁场强度可调节式磁控溅射装置，包括装置主体，所述装置主体的内端刻有内螺纹，所述装置主体的内端螺纹连接有外螺纹套筒，所述装置主体的内侧设有多层胶布主体，多层所述胶布主体均位于靠近外螺纹套筒口处，相邻的两层胶布主体相粘接，最外层的胶布主体与外螺纹套筒的内壁粘接，多个所述胶布主体的下端均固定连接有内筒体，多个所述内筒体自上而下依次套接，且多个所述内筒体均位于装置主体内，一对所述伸缩杆凹槽内端设有伸缩杆，一对所述伸缩杆凹槽与伸缩杆转动连接，所述伸缩杆的两端均固定连接有限位块，所述限位块与限位腔转动连接，装置主体内便于清洁，使用更加方便。