一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构

基本信息

申请号 CN202111301539.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114001878A 公开(公告)日 2022-02-01
申请公布号 CN114001878A 申请公布日 2022-02-01
分类号 G01M3/20(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 冉振为;洪荣丰;曹大阳;郭炳汉;汪浩;杨效 申请(专利权)人 深圳华尔升智控技术有限公司
代理机构 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 代理人 胡欢
地址 518000广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区华霆路5号厂房B栋1层-2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,涉及氦质谱检漏仪设备技术领域。该用于氦质谱检漏仪的气体过滤机构,包括机体和检漏管,所述机体顶部输入端安装有检漏管,所述检漏管顶部插接有过滤组件,所述过滤组件用于过滤流入至机体的气体,防止污物损坏机体内部精密零件,所述过滤组件底部表面设有支撑组件,并且支撑组件底部表面与机体顶部表面相连,所述支撑组件用于对过滤组件支撑托起,本发明可对流入至机体的气体进行过滤处理,从而能够防止气体中的污物损坏氦质谱检漏仪内部精密零件,并且又能对吸入的气体进行增压处理,进而能够使得设备对大物件进行漏气检测处理,以便于提高了设备使用灵活性。