一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器

基本信息

申请号 CN202111301542.9 申请日 -
公开(公告)号 CN114001879A 公开(公告)日 2022-02-01
申请公布号 CN114001879A 申请公布日 2022-02-01
分类号 G01M3/20(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 冉振为;洪荣丰;杨效;曹大阳;郭炳汉;汪浩 申请(专利权)人 深圳华尔升智控技术有限公司
代理机构 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 代理人 胡欢
地址 518000广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区华霆路5号厂房B栋1层-2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,涉及氦质谱捡漏设备技术领域。该用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,包括供燃板、微型通气孔、固定外壳、旋转内壳和发热电阻。将供燃板的表面放置有镁条,对加热装置加热,给发热电阻通电,直至达到镁条的燃点,镁条在空气中可以和氮气、氧气以及二氧化碳发生反应,所生成的都是非气体,不会影响氦气的含量,以此提升氦质谱检漏仪吸入气体中氦气的含量,提高氦质谱检漏仪的检漏精度,且许多弯曲的微型通气孔也不会妨碍气体的进出,也不会防止生成的固体下落至氦质谱检漏仪的内部,由于发热电阻在通电加热时的热量很高,可以利用固定外壳和旋转内壳进行保护,同时也不会妨碍发热电阻的更换。