一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置

基本信息

申请号 CN202121632730.5 申请日 -
公开(公告)号 CN215448353U 公开(公告)日 2022-01-07
申请公布号 CN215448353U 申请公布日 2022-01-07
分类号 G01M3/20(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 冉振为 申请(专利权)人 深圳华尔升智控技术有限公司
代理机构 广东中禾共赢知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 陈欢
地址 518000广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区华霆路5号厂房B栋1层-2层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种氦检系统用全自动抽真空式氦检漏放气装置,包括工作台以及设置在工作台顶部的检漏机构,还包括设置在检漏机构上的锁紧机构,第一真空泵的一端固定连接有第一收集管,第一收集管的另一端贯穿箱体并延伸,第二真空泵的一端固定连接有第一抽气管,且第一抽气管的另一端固定连接在第一收集管的中间,当氦质谱检漏仪检测到工件发生泄漏的时候,关闭第一电磁阀和增压泵,随后通过开启第二电磁阀和第二抽气管上的第三电磁阀,驱动第一真空泵,第一真空泵将工件内部和箱体内的氦气抽取并泵入氦气瓶内,实现了一个真空泵同时将工件内部和箱体内的氦气进行回收,减少了结构,避免氦气泄露,节约资源,且减少了手动操作。