一种芯片制造用硅晶圆夹取伸缩臂
基本信息
| 申请号 | CN202021104913.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214213820U | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN214213820U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | B25J9/14（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 上海卿颐电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201512上海市金山区金山卫镇秋实路688号1号楼5单元345室D座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片制造用硅晶圆夹取伸缩臂，包括：壳体；安装板，固定设置在所述壳体的底端；第一圆柱杆，固定设置在所述壳体的内腔顶端，且所述第一圆柱杆的左右两端分别延伸出壳体的左右两侧；伸缩夹取组件，设置在所述壳体的顶端；驱动机构，设置在所述壳体的内腔。该芯片制造用硅晶圆夹取伸缩臂，可对晶圆夹具进行平稳的伸长缩短，且伸缩长度较长，无需占用过多的使用空间，有利于其他硅晶圆加工设备的安放，实用性强。 |
