一种自动化晶圆载台
基本信息
| 申请号 | CN202122953524.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216450614U | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN216450614U | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 崔剑锋;罗帅;李忠乾;张洪华;赵刚;王刚 | 申请（专利权）人 | 苏州科韵激光科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市万慧达律师事务所 | 代理人 | 陈晓磊 |
| 地址 | 215100江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞苇路668号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种自动化晶圆载台，其包括：吸盘，吸盘中部开设有顶升滑孔；基座，基座上部安装有所述吸盘，基座和所述吸盘接触面中部开设有凹槽形成安装位；顶升机构，顶升机构设置于所述安装位中，所述顶升机构被配置为对硅晶圆片进行顶升，所述顶升机构包括安装板、固定板以及顶升轴，其中安装板用于将顶升机构安装于所述安装位，固定板通过气缸的伸缩杆连接于安装板上方，顶升轴设于所述固定板上端面，所述顶升轴升降设置于所述吸盘的工作面，所述顶升滑孔被配置为顶升轴进行升降时的通道。本申请解决硅晶圆片为翘曲较大的形态时，普通真空吸盘吸取不牢靠的技术问题。 |
