一种键合丝退火炉
基本信息
| 申请号 | CN201922362933.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211170804U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211170804U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | C21D9/573(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王岩;高琪;林良;曲少娜;刘炳磊 | 申请（专利权）人 | 烟台一诺电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 烟台上禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 烟台一诺电子材料有限公司 |
| 地址 | 264006山东省烟台市经济技术开发区珠江路32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的玻璃管以及设置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述玻璃管之外，形成隔离腔，碳化硅管内设有环状的降温风道，降温风道端部设有冷空气入口，外侧包覆有三组感应线圈，分别设置在碳化硅管的端部、中间和尾部，感应线圈均分别连接ZVS电源，感应线圈下的碳化硅管内设有热电偶。本实用新型玻璃管和碳化硅管不接触，二者之间的隔离腔可使温度均匀分散，利于稳定退火，且便于更换石英玻璃管；在碳化硅管内设置降温风道，需要降低使用温度时，向其通入空气即可降温，无需长时间等待，提高生产效率。 |
