一种175℃差动电容式MEMS加速度计伺服电路
基本信息
| 申请号 | CN201810611835.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108896784A | 公开（公告）日 | 2018-11-27 |
| 申请公布号 | CN108896784A | 申请公布日 | 2018-11-27 |
| 分类号 | G01P15/125;G01P1/02;G01P1/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 田志鹏;白巍;胡宸源;杨长春;麻三怀;陈文轩;张文秀;韩可都;杨继进;程金晶 | 申请（专利权）人 | 厦门烽行光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中宇洪坤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 厦门烽行光电科技有限公司 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新区火炬园火炬路56-58号火炬广场南楼203-52 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种175℃差动电容式MEMS加速度计伺服电路，采用厚膜混合集成电路工艺制作，用双列直插潜腔金属外壳封装，内部充有氮气保护。本发明可以长期在175℃环境中可靠的工作，且体积较小，可以和MEMS加速度计表头完美装配，形成一体化结构，在石油钻井工作中的高温、高压和强振动情况下，长期稳定工作。 |
