一种MEMS超环面微镜光纤光开关及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201710622947.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107219589A | 公开（公告）日 | 2017-09-29 |
| 申请公布号 | CN107219589A | 申请公布日 | 2017-09-29 |
| 分类号 | G02B6/35(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 田志鹏 | 申请（专利权）人 | 厦门烽行光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 大庆知文知识产权代理有限公司 | 代理人 | 田志鹏 |
| 地址 | 545005 广西壮族自治区柳州市柳南区城站路东站三区7-1-8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MEMS超环面微镜光开关,使用超环面微镜作为光学反射模块，从发射端光纤射出的发散光，被超环面镜反射并会聚到接收端光纤中。超环面微镜通过MEMS工艺，使用渐变曝光的光刻方式批量生产，并使用多点电致伸缩材料支撑柱改变该微镜的角度。使用本发明提供的结构，可实现低插入损耗，高光学耦合效率，低串扰，高机械稳定性的高质量光开光，在光纤通讯和高端光纤传感器的应用中，具有重要作用。 |
