一种氮化镓器件
基本信息
| 申请号 | CN202210332936.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695541A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695541A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L29/45（2006.01）I;H01L29/47（2006.01）I;H01L29/778（2006.01）I;H01L21/335（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张元雷;孙志伟;王惟生;王超;赵胤超;刘雯 | 申请（专利权）人 | 西交利物浦大学 |
| 代理机构 | 苏州谨和知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215123江苏省苏州市工业园区独墅湖高等教育区仁爱路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种氮化镓器件，包括：氮化镓层；铝镓氮层，形成于所述氮化镓层上方；源极、栅极和漏极，彼此间隔形成于所述铝镓氮层上方；其中，所述漏极包括A电极、B电极和C区域，所述C区域形成于所述铝镓氮层上方，所述B电极形成于所述铝镓氮层上方并在水平方向与所述C区域接触，所述A电极形成于所述C区域上方并在竖直方向与所述C区域接触，所述C区域由P型氧化物构成，所述A电极和B电极由高功函数金属构成。本发明的氮化镓器件通过使得漏极或者是阳极形成混合电极，一方面，C区域会抑制下方的二维电子气（2DEG），改善电场分布；另一方面，C区域和A电极形成的混合电极具有PN结特性，对于反向击穿有较好的提升。 |
