一种直热式高通量样品架及含其的磁控溅射镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201921934476.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210886208U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210886208U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刁训刚;秦建平;刁诗如 | 申请（专利权）人 | 纳能镀膜丹阳有限公司 |
| 代理机构 | 北京领科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾变开 |
| 地址 | 212300江苏省镇江市丹阳市云阳镇南三环路科创园C3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种直热式高通量样品架，包括样品台、支撑杆和驱动旋转装置，其特征在于，所述样品架还包括样品罩，所述样品罩可拆卸地设在样品台上方，样品台的内部设有加热装置，所述样品罩具有多个样品通孔，用于高通量制备多组份混合纳米薄膜和纳米多层功能薄膜器件；所述支撑杆的顶部固定连接样品台，且底部连接所述驱动旋转装置，所述驱动旋转装置通过支撑杆带动样品台旋转。所述样品架热能利用率较高，样品温度容易控制。所述样品罩具有上百个样品通孔，为材料基因组高通量镀膜提供可能。 |
