一种用于磁控靶的收放式挡板及含其的磁控溅射镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201921934505.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210886209U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210886209U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刁训刚;秦建平;刁诗如 | 申请（专利权）人 | 纳能镀膜丹阳有限公司 |
| 代理机构 | 北京领科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 艾变开 |
| 地址 | 212300江苏省镇江市丹阳市云阳镇南三环路科创园C3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于磁控靶的收放式挡板及含其的磁控溅射镀膜机，所述收放式挡板竖直放置，并包括气缸、挡板轴、第一连片、第二连片和靶挡板，所述气缸设在所述收放式挡板的顶部，所述挡板轴固定连接气缸的活塞，并能够随活塞做伸缩运动，所述第一连片的顶部固定在气缸外部，底部铰接所述靶挡板，所述第二连片的顶部连接挡板轴，底部连接靶挡板；所述靶挡板设在所述收放式挡板的底部，所述挡板轴通过第二连片带动靶挡板相对于第一连片做伸展或收缩闭合的运动。 |
