连续直拉单晶的单晶炉

基本信息

申请号 CN202022051324.1 申请日 -
公开(公告)号 CN213652723U 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN213652723U 申请公布日 2021-07-09
分类号 C30B15/12(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈五奎;陈昊;陈嘉豪;陈辉 申请(专利权)人 乐山新天源太阳能科技有限公司
代理机构 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 代理人 李玉兴
地址 614000四川省乐山市乐山高新区建业大道888号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种能够实现单晶硅的连续直拉,能够提高拉晶质量,保证连续加料,并且能够保证单晶硅棒的品质的连续直拉单晶的单晶炉。该连续直拉单晶的单晶炉包括炉体;所述炉体的内腔内安装有双层坩埚;所述炉体上端设置有拉伸装置;所述炉体上端设置有硅料加料装置;所述双层坩埚下端设置有石墨加热托盘;所述石墨加热托盘下方设置有托盘;所述托盘下端设置有拖杆;所述炉体的内壁上设置有保温层;所述炉体内腔的底部设置有反射层;所述双层坩埚与保温层之间设置有加热电阻;所述双层坩埚上方设置有导流筒;所述炉体下端设置有加热电极。采用该连续直拉单晶的单晶炉能够保证单晶硅棒的连续直拉以及提高生产效率。