大直径高效N型单晶硅的制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910637767.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110257901B | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN110257901B | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C30B15/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陈嘉豪;徐文州;陈辉;陈磊 | 申请（专利权）人 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都点睛专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李玉兴 |
| 地址 | 614000四川省乐山市乐山高新区建业大道888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了能够降低对设备要求，同时提高生产效率的大直径高效N型单晶硅的制备工艺。该大直径高效N型单晶硅的制备工艺，包括步骤：S1、配料；S2、装料和熔化；S3、引晶；S4、缩颈；通过晶棒提升旋转装置提拉籽晶，形成晶体；S5、放肩；将晶体控制到所需的目标直径；S6、等径生长；S7、通过二次加料装置向坩埚内添加熔融硅料；S8、收尾：晶体直径逐渐缩小，离开熔体；S9、降温：降低温度，逐渐冷却温度。采用该大直径高效N型单晶硅的制备工艺，能够小型化生产设备，能够降低生产设备的成本，降低能耗，提高生产效率，便于生产。 |
