连续直拉单晶棒工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010983585.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112048758A | 公开（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申请公布号 | CN112048758A | 申请公布日 | 2020-12-08 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈五奎;陈昊;陈嘉豪;陈辉 | 申请（专利权）人 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都点睛专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 地址 | 614000四川省乐山市乐山高新区建业大道888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种能够实现单晶硅棒连续成晶，保证硅棒品质的连续直拉单晶棒工艺。该连续直拉单晶棒工艺采用连续直拉单晶炉，还包括以下步骤：S1、向双层坩埚的内层坩埚筒内添加硅料；S2、通过惰性气体进口通入惰性气体，然后由惰性气体吸气口吸出惰性气体；S3、通过石墨加热托盘、加热电阻实现对双层坩埚的加热；S4、通过拉伸装置对单晶硅棒进行拉伸成形；同时通过所述硅料加料装置向外层坩埚内添加颗粒硅料；S5、保证炉内的压力，保证炉体内的温度；S6、通过拉伸装置实现单晶硅的连续直拉。采用该连续直拉单晶棒工艺能够提高拉晶速度，增加硅棒单位时间产出，有效的降低产能，提高成晶率。 |
