用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置
基本信息
申请号 | CN201810063552.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108321111A | 公开(公告)日 | 2018-07-24 |
申请公布号 | CN108321111A | 申请公布日 | 2018-07-24 |
分类号 | H01L21/68;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 范启超 | 申请(专利权)人 | 浙江潮晨能源科技有限公司 |
代理机构 | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 浙江潮晨能源科技有限公司 |
地址 | 314406 浙江省嘉兴市海宁市斜桥工业园新建路九号一幢2层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置。它解决了现有清洗装置结构简单,不能连续对其进行扩散、刻蚀、刮涂和烧结,生产速度慢等技术问题。本用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,用于制备电池片的生产系统包括底座,底座上设置有工作台,刻蚀装置包括机架,机架设置在工作台上,机架上固定有刻蚀箱,机架上还固定有工作箱,工作箱通过伸缩管和刻蚀箱相连通;工作箱内固定有放电电极,所述工作箱内设置有用于对其进行冷却的风扇,风扇与一能带动其转动的第一动力机构相连。本发明具有工作稳定性好的优点。 |
