用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置

基本信息

申请号 CN201810063552.5 申请日 -
公开(公告)号 CN108321111A 公开(公告)日 2018-07-24
申请公布号 CN108321111A 申请公布日 2018-07-24
分类号 H01L21/68;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 范启超 申请(专利权)人 浙江潮晨能源科技有限公司
代理机构 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 代理人 浙江潮晨能源科技有限公司
地址 314406 浙江省嘉兴市海宁市斜桥工业园新建路九号一幢2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置。它解决了现有清洗装置结构简单,不能连续对其进行扩散、刻蚀、刮涂和烧结,生产速度慢等技术问题。本用于制备电池片的生产系统中的刻蚀装置,用于制备电池片的生产系统包括底座,底座上设置有工作台,刻蚀装置包括机架,机架设置在工作台上,机架上固定有刻蚀箱,机架上还固定有工作箱,工作箱通过伸缩管和刻蚀箱相连通;工作箱内固定有放电电极,所述工作箱内设置有用于对其进行冷却的风扇,风扇与一能带动其转动的第一动力机构相连。本发明具有工作稳定性好的优点。