一种使工件均匀受热的真空镀膜设备

基本信息

申请号 CN201921473477.6 申请日 -
公开(公告)号 CN210886188U 公开(公告)日 2020-06-30
申请公布号 CN210886188U 申请公布日 2020-06-30
分类号 C23C14/02(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分类 -
发明人 常江;常满;陈国奇;汪洋 申请(专利权)人 成都市江泰真空镀膜科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯区高新区永丰路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种使工件均匀受热的真空镀膜设备,包括底板,所述底板的顶部固定连接有真空镀膜箱,所述真空镀膜箱内腔的顶部固定连接有工作台,所述工作台的内部开设有气密性槽,本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域。该使工件均匀受热的真空镀膜设备,通过设置电性伸缩件带动两个活塞向两侧滑动,利用气压推动气密性塞在通槽的内表面向上运动,从而带动支撑柱顶起工件,利用第一加热装置和第一加热管对工件底部的中间部位进行预加热,并配合第二加热装置和第二加热管对工件底部的边沿进行预加热,无需人工进行翻转加热工件的底部,不仅操作过程简单,人工劳动强度小,而且受热均匀,极大的提高后续镀膜的效果。