一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构
基本信息
| 申请号 | CN201921711314.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210886197U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210886197U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 常江;常满;陈国奇;汪洋 | 申请（专利权）人 | 成都市江泰真空镀膜科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 610041四川省成都市武侯区高新区永丰路22号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括壳体，所述壳体开口处的底壁固定连接有导轨，所述导轨上活动连接有底座，所述壳体内顶壁的中部固定连接有安装座，且安装座的底壁固定连接有阴极板，所述阴极板的底壁安装有靶材，所述阴极板底部的左侧开设有L形的卡接孔，所述靶材的左端通过转轴贯穿卡接孔与阴极板活动连接，所述靶材的右端开始有圆柱槽，且圆柱槽内固定连接有复位弹簧。本实用新型涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，通过设置有翻转机构，实现了将靶材自动拆卸安装，无需操作人员手工操作，降低了劳动强度，提高了工作效率，同时避免了高处作业，解决了安全隐患。 |
