一种多工位式连续式真空镀膜设备

基本信息

申请号 CN201921473506.9 申请日 -
公开(公告)号 CN210886215U 公开(公告)日 2020-06-30
申请公布号 CN210886215U 申请公布日 2020-06-30
分类号 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分类 -
发明人 常江;常满;陈国奇;汪洋 申请(专利权)人 成都市江泰真空镀膜科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯区高新区永丰路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多工位式连续式真空镀膜设备,包括镀膜箱,所述镀膜箱的底部设置有支架,所述镀膜箱的右侧和背面均设置有第一过渡箱,并且镀膜箱的左侧和正面均设置有第二过渡箱,所述第一过渡箱和第二过渡箱的两侧均为贯通结构,并且第一过渡箱的左侧和第二过渡箱的右侧均与镀膜箱相连通,本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域。该多工位式连续式真空镀膜设备,通过镀膜箱的右侧和背面均设置有第一过渡箱,镀膜箱的左侧和正面均设置有第二过渡箱,第一过渡箱和第二过渡箱的两侧均为贯通结构,第一过渡箱的左侧和第二过渡箱的右侧均与镀膜箱相连通,实现多工位可连续式镀膜加工,换料间隔停顿时间少,大大提高加工效率。