一种高分子等离子表面真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201921473460.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210886196U | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN210886196U | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 常江;常满;陈国奇;汪洋 | 申请（专利权）人 | 成都市江泰真空镀膜科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 610041四川省成都市武侯区高新区永丰路22号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高分子等离子表面真空镀膜设备，包括腔体、基板和坩埚，腔体底部的四角均固定连接有支撑腿，腔体的正面转动连接有密封门，腔体内壁两侧之间的底部固定连接有支撑板，支撑板的顶部固定连接有防护框，防护框内壁的两侧均固定连接有第一滑轨，本实用新型涉及真空镀膜技术领域。该高分子等离子表面真空镀膜设备，当镀膜工作完成后，可以将坩埚密封在防护框内，这样就可以及时打开密封门，将基板取出准备下一次镀膜，能够有效防止镀膜材料喷溅，且省去坩埚降温的时间，提高了工作效率，电机工作能够调整两个限位板之间的距离，使其能够固定不同大小的基板，扩大了适用范围，适用性更强，提高了实用性。 |
