一种真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201821304281.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208733206U | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN208733206U | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | C23C14/22 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王江波;朱伟;张长林;崔德江;李炳沛 | 申请（专利权）人 | 江泰光电（惠州）有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市科安知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江泰光电（惠州）有限公司 |
| 地址 | 516000 广东省惠州市仲恺高新区惠风东一路5号厂房A1栋B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，底板顶面一侧安装有驱动柜，底板一侧安装有安装座，真空仓内部设置有降温组件，内仓与真空仓之间填充有导热硅胶，内仓侧面均匀缠绕有降温铜管，真空仓侧面上部安装有充气过滤组件，双层金属网内部填充有干燥剂，双层金属网一侧设置有滤布，本实用新型通过向降温铜管内通入冷却水，降低温度，防止因温度过高而对熔点较低的镀件产生损坏，在进行抽真空时，降温铜管通入的冷水降低内仓壁的温度，使真空仓内的水蒸气在内仓壁凝结为水滴，并通过导流槽引导和汇集，空气流过滤布和干燥剂，滤布过滤空气中的灰尘和其他固体杂质，干燥剂吸收水蒸气，减小灰尘和水蒸气对镀件品质的影响。 |
