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一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法

基本信息

申请号	CN202010527014.4	申请日	-
公开（公告）号	CN111676463A	公开（公告）日	2020-09-18
申请公布号	CN111676463A	申请公布日	2020-09-18
分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李国华;姜龙;郭辉;董旺;崔玉明;王少岩;马立佳	申请（专利权）人	河北省激光研究所有限公司
代理机构	石家庄冀科专利商标事务所有限公司	代理人	周晓萍
地址	050081河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号
法律状态	-

摘要

一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法，包括下述步骤：阴极、阳极分体；环状工件安装到支撑环上，环状工件套装在阳极外围且与阳极同心放置；上升沉积台，使阳极上端面离辅助电极下端面10‑20mm；在阴极和辅助电极之间通入工作气体，磁场线圈通入电流，在阳极和阴极之间引燃电弧，阳极斑点在阳极边沿高速旋转，形成伞状弧帽；下降沉积台，将伞状弧帽调整于环状工件的中心；在引弧电极和辅助电极之间通入含碳气体，等离子体射流沿径向吹向环状工件内壁，在环状工件内壁沉积金刚石涂层。本发明阴极、阳极分离，工件置于阴极阳极之间，阳极的结构使高温气流以径向吹向环状工件内壁，气流与工件内壁垂直，能量集中，热效率高，金刚石涂层生长速度快，质量好。