一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法
基本信息
| 申请号 | CN202010527014.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111676463B | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN111676463B | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/513（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李国华;姜龙;郭辉;董旺;崔玉明;王少岩;马立佳 | 申请（专利权）人 | 河北省科学院 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号河北省科学院3号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法，包括下述步骤：阴极、阳极分体；环状工件安装到支撑环上，环状工件套装在阳极外围且与阳极同心放置；上升沉积台，使阳极上端面离辅助电极下端面10‑20mm；在阴极和辅助电极之间通入工作气体，磁场线圈通入电流，在阳极和阴极之间引燃电弧，阳极斑点在阳极边沿高速旋转，形成伞状弧帽；下降沉积台，将伞状弧帽调整于环状工件的中心；在引弧电极和辅助电极之间通入含碳气体，等离子体射流沿径向吹向环状工件内壁，在环状工件内壁沉积金刚石涂层。本发明阴极、阳极分离，工件置于阴极阳极之间，阳极的结构使高温气流以径向吹向环状工件内壁，气流与工件内壁垂直，能量集中，热效率高，金刚石涂层生长速度快，质量好。 |
